半導(dǎo)體制造工廠使用的搬送系統(tǒng)

OHT (空中走行式無(wú)人搬送車)

一種自動(dòng)化搬送裝置，能夠在空中軌道上行駛，并能夠通過(guò)皮帶傳動(dòng)起重機(jī)構(gòu)“直接”進(jìn)入保管設(shè)備或工藝設(shè)備的裝卸口。
“OHT”是Overhead Hoist Transport的簡(jiǎn)稱。這一系統(tǒng)被廣泛認(rèn)定為300mm FAB及下一代FAB的主力搬送系統(tǒng)，目前不僅應(yīng)用于工序區(qū)內(nèi)部運(yùn)輸，也應(yīng)用于工序區(qū)間或工廠間運(yùn)輸。