半導體制造工廠使用的搬送系統(tǒng)

OHS (空中走行式穿梭車)

一種自動化搬送裝置，可在空中高架軌道上行駛從而帶動載體。 “OHS”是Over Head Shuttle的簡稱。其主要用于在指定的保管設備（例如負責成膜和沖洗的工序區(qū)的存儲庫）之間搬送載體，其也稱為“工序區(qū)間搬送系統(tǒng)”。