半導體制造工廠使用的搬送系統(tǒng)

存儲庫

無塵室內(nèi)的臨時存儲庫，可縮短工藝設備流程結(jié)束到下一工藝設備流程開始之間的時間差。我們可提供一系列的存儲解決方案以滿足您的需要，例如用于存儲載體（FOUP或RSP）的存儲庫、工藝設備流程開始前的暫時存儲站臺(TS300)

Tool Station (TS300)

工藝設備裝卸口前的暫時存儲站臺。
“TS300”是Tool Station 300的簡稱。其可在新生產(chǎn)線或現(xiàn)有生產(chǎn)線上安裝（只要設備符合E15.1 SEMI標準）。

通過該裝置，載體（FOUP）可在最接近工藝設備的位置得到暫時存儲。此外，通過在各個工藝設備上安裝獨立的傳輸單元可減少流程結(jié)束后到下一次流程開始之間更換FOUP的時間，從而提高檢查設備（尤其是檢查時間較短的設備）的操作效率。